荷兰ASML升级无锡技术服务基地,能在中国设厂生产光刻机吗?

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摘要

毫無疑問,芯片行業的競爭並不單純是單個企業的行為。芯片這種尖端科技,是大國博弈、大國崛起與大國重器的重要部分。事情需要串聯起來看,如果把多件事情結合起來,來龍去

荷兰ASML升级无锡技术服务基地,能在中国设厂生产光刻机吗?

毫無疑問,芯片行業的競爭其實不單純是單個企業的行動。芯片這類尖端科技,是大國博弈、大國突起與大國重器的重要部份。事情需要串連起來看,如果把多件事情結合起來,來龍去脈和背後目的就會1目瞭然:

第1件事:5月15日,臺積電在官網宣佈,成心在美國興修和營運1座先進晶圓廠,用以生產5nm半導體芯片,總投資120億美元。計劃於 2021 年開始建設,2024 年開始投產。以後不久,美國商務部長威爾伯·羅斯對臺積電宣佈的在美建廠計劃表示贊美。臺積電已在華盛頓州卡馬斯市設有工廠,並在德克薩斯州奧斯汀市和加利福尼亞州聖何塞市設有設計中心,因此亞利桑那州的工廠將成為其在美國的第2個生產基地。

該工廠將使用臺積電最新的 5 納米制造工藝,每個月制造約 20,000 個晶圓。 臺積電多年來1直在改進其工藝,從 iPhone 7 的 16nm A10 芯片到 iPhone 11 的 7nm A13 芯片。而接下來的 iPhone 12 機型,預計將使用 5nm 的 A14 芯片。

第2件事:美國多傢半導體裝備公司於5月12日發函給中國的晶圓制造廠、科研機構和高校,對裝備用處予以限制。信達證券電子首席分析師方競表示,國內晶圓制造廠需要和美國裝備公司簽署不生產某些特定芯片的許諾書,且對方會派人員駐廠核對。因此,對嚴格履行這項規定的廠商不在發函范圍。

第3件事:美國工業和安全局(BIS)宣佈將推出新的出口管制規定以限制華為使用包括美國技術和軟件在國外設計和制造半導體的能力。凡使用美國的技術、裝備等向華為出貨都需要許可證。此次修改的外國產品規則,將影響所有使用“美國裝備”在外國工廠生產的芯片。換句話說,任何國傢生產芯片時,隻要觸及到任何美國的軟件或美國裝備,都要取得美國政府的許可證。如此1來,華為的所有芯片,不管是手機芯片、伺服器芯片、電源管理芯片、機頂盒芯片都將遭到美國管制。

以上幾件事說明,美國延續加大對華半導體限制,處於發展關鍵期的國內芯片產業任重道遠。作為大國博弈的1部份,中國芯片企業也在努力。分析人士表示,這會進1步激起國內芯片產業實現自強的決心。

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內地芯片制造龍頭中芯國際發佈公告,國傢大基金2期與上海集成電路基金2期同意分別向附屬公司中芯南方註資15億美元、7.5億美元。依照當下匯率計算,註資分別折合人民幣106億元、53億元。根據新合資合同及新增資擴股協議,中芯控股同意作出進1步註資,而國傢集成電路基金Ⅱ及上海集成電路基金Ⅱ(作為中芯南方的新股東)同意分別註資15億美元及7.5億美元予中芯南方註冊資本,兩傢註資金額總計為22.5億美元。由於進行註資,中芯南方註冊資本將由35億美元增加至65億美元。

根據中芯國際的發展計劃,該12英寸晶圓廠將由國傢集成電路基金、國傢集成電路基金II、上海集成電路基金及上海集成電路基金II以合資公司火伴的方式興修,而中芯國際將加快引進先進制造工藝及產品。註資的大部份款額將根據發展計劃用作資本開支,並使公司可開發高端及快速增長的產品流,將為公司帶來更多的增長機會,並為保持本團體競爭力所必要。

根據中芯國際的公告,目前中芯南方14nm的產能已到達瞭6000片晶圓/月,這個速度還是很快的,去年底量產的時候據悉產能不過1000片晶圓/月,3月底的時候目標是4000片晶圓/月。中芯南方的終究目標產能是35000片晶圓/月,主要生產14nm及以下工藝先進晶圓,包括14nm改進型的12nm工藝,未來還有下1代的N+1、N+2代工藝。

中芯國際是我國第1大晶圓制造廠。據官網介紹,中芯國際集成電路制造有限公司及其控股子公司是世界領先的集成電路晶圓代工企業之1,也是中國內地技術最早進、配套最完善、范圍最大、跨國經營的集成電路制造企業團體,提供0.35微米到14納米不同技術節點的晶圓代工與技術服務。

日前,中芯國際發佈公告稱,擬在科創板上市,部份召募資金將用於12英寸芯片SN1項目。這1消息,1度引發A股半導體板塊的集體上揚。而在5月13日,中芯國際 發佈2020年1季度事跡報告,其1季度營收9.049億美元,環比增長7.8%,同比增長35.3%,創季度營收歷史新高。

另外,5月14日荷蘭ASML公司與江蘇無錫市高新區政府簽署合作協議,設立瞭光刻機裝備技術服務(無錫)基地。ASML將建設專業團隊技術中心,從事光刻機保護、升級等技術服務,同時建設供應鏈服務中心,提供高效物料和物流支持,體現瞭歐洲光刻機大廠ASML對中國市場的重視。2006年,阿斯麥在無錫高新區設立分支機構。隨著國內半導體市場的快速擴大,阿斯麥擬進1步整合資源、擴大業務范圍和范圍,設立光刻裝備技術服務基地。

無錫日報指出,光刻裝備技術服務(無錫)基地涵蓋兩大業務板塊:從事光刻機保護、升級等高技術、高增值服務的技術中心,和為客戶提供高效供應鏈服務,為裝備安裝、升級及生產運營等所需物料提供更高水準物流支持的半導體供應鏈服務中心。項目建成後,將進1步提高服務能力,更好滿足當地集成電路產業的發展需求,幫助客戶在延續提升芯片價值的同時下降制造本錢。

荷兰ASML升级无锡技术服务基地,能在中国设厂生产光刻机吗?

其實ASML隻不過是擴大無錫的服務中心,而不是在中國設廠,更不是在中國生產光刻機,高管表態重視中國市場光刻裝備是發展集成電路產業的重要核心。總部位於荷蘭的阿斯麥,是全球芯片制造裝備領導廠商,並且是芯片光刻技術的領導者。幾10年來,阿斯麥憑仗在光刻機制造領域成熟的先進技術優勢,壟斷瞭光刻機市場 。

上月韓媒報導稱,ASML公司正積極投資研發下1代EUV光刻機,與現有的光刻機相比,2代EUV光刻機最大的變化就是High NA(高數值孔徑)透鏡,通過提升透鏡規格使得新1代光刻機的微縮分辨率、套準精度兩大光刻機核心指標提升70%,到達業界對幾何式芯片微縮的要求。

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